光學(xué)測(cè)量原理結(jié)合先進(jìn)芯片技術(shù),IERF3 L 在 22-42mm 直徑范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn) 0.1° 定位精度,抗磁場(chǎng)干擾能力優(yōu)于傳統(tǒng)磁編碼器 3 倍。 標(biāo)配線驅(qū)動(dòng)器支持長(zhǎng)距離傳輸,在半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、天文望遠(yuǎn)鏡精密調(diào)焦等場(chǎng)景中表現(xiàn)卓越。